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UV29TE/UV29TH-紫外线照射机
4”-8”/8”-12”晶圆适用 手动晶圆装卸料 365纳米波长紫外LED颗粒阵列 照射时间可控 可选嵌入式紫外线能量传感器 高强度紫外线能量输出 长寿命LED颗粒 基于PLC 的程序控制 |
4”-8”/8”-12”晶圆适用 手动晶圆装卸料 365纳米波长紫外LED颗粒阵列 照射时间可控 可选嵌入式紫外线能量传感器 高强度紫外线能量输出 长寿命LED颗粒 基于PLC 的程序控制 |