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NTW360-全自动晶圆贴膜机
8”-12”晶圆适用 防静电滚轮贴膜 可选贝努利晶圆搬运技术 配置12” 装卸料坞 晶圆智能料篮内测绘 非接触晶圆校正 蓝膜、紫外线胶膜可选 工控机+Windows系统 SECS/GEM 或简易联网能力 |
8”-12”晶圆适用 防静电滚轮贴膜 可选贝努利晶圆搬运技术 配置12” 装卸料坞 晶圆智能料篮内测绘 非接触晶圆校正 蓝膜、紫外线胶膜可选 工控机+Windows系统 SECS/GEM 或简易联网能力 |