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SWS320-全自动晶圆检查机/分选机/倒片机
| 8”-12”晶圆适用 可处理薄晶圆 可选晶圆料篮、料盒等方式装卸料 晶圆分选功能 晶圆倒片功能 视觉检查功能 显微镜检查功能 平台模块化设计 工控机+Windows系统 SECS/GEM 或简易联网能力 |
| 8”-12”晶圆适用 可处理薄晶圆 可选晶圆料篮、料盒等方式装卸料 晶圆分选功能 晶圆倒片功能 视觉检查功能 显微镜检查功能 平台模块化设计 工控机+Windows系统 SECS/GEM 或简易联网能力 |
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